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检测环箍中晶片的有无、弹出和倾斜情况
发布时间：
2023-11-29 16:13
用两台BGS-HDL系列检测晶圆的有无、弹出和倾斜情况。
BGS-HDL系列配备了2个开关量输出，输出1时可检测有无晶圆，输出2时可检测弹出。晶圆的倾斜度可以通过左右传感器的输出1的ON/OFF定时来判断。
光电传感器
型号：BGS-HL/BGS-HDL系列
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